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在購買X射線熒光光譜儀的組件時(shí),需要注意的事項(xiàng)

更新時(shí)間:2022-12-08 點(diǎn)擊次數(shù):1717
  X射線熒光光譜儀既可用于材料的組成成分分析,又可用于涂層和多層薄膜厚度的測(cè)量等,是一種常用的光譜技術(shù)。與所有的分析儀器一樣,在做出購買決定前應(yīng)當(dāng)考慮許多因素,例如應(yīng)用領(lǐng)域等細(xì)節(jié)。下面將著重討論在選擇一套用于測(cè)量薄層材料厚度的熒光光譜儀體系時(shí)應(yīng)當(dāng)考慮的一些重要因素,討論的對(duì)象主要為能量色散光譜儀體系(EDXRF),這種體系如今已經(jīng)具有許多不同的配置規(guī)格,具體如下:
  
  主要組件的選擇:
  1、氣氛
  X射線熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大部分元素,具體而言,從鈉元素(原子序數(shù)Z=11)到鈾元素(原子序數(shù)Z=92)都可以利用這種技術(shù)進(jìn)行檢測(cè)分析。但是對(duì)于原子序數(shù)較低的元素(鈦元素Ti,Z=22以下),空氣會(huì)對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生較大影響;由低原子序數(shù)元素產(chǎn)生的熒光值通常更低,并且樣品基體中的其它元素有可能會(huì)吸收低原子序數(shù)元素的能量輻射。
  
  通常情況下,用于提高低原子序數(shù)元素的檢測(cè)靈敏度的方法主要為將儀器的樣品室抽成真空環(huán)境或者以氦氣(He)沖洗樣品室。
  

 

  2、探測(cè)器
  新型探測(cè)器技術(shù)——硅漂移探測(cè)器(SDDs)能夠提高低能量敏感度,使得X射線熒光光譜技術(shù)可以對(duì)一些低原子序數(shù)元素進(jìn)行檢測(cè)分析,甚至是在空氣氣氛中也能進(jìn)行檢測(cè),例如用于測(cè)量化學(xué)鍍鎳涂層中磷元素(原子序數(shù)Z=15)的含量。但是,大多數(shù)的低原子序數(shù)元素的檢測(cè)分析依然還需要隔離空氣氣氛。
  
  在能量色散熒光光譜儀中,硅探測(cè)器已經(jīng)變得非常普遍;今天用到的硅探測(cè)器要么就是上面提到的硅漂移探測(cè)器,要么就是Si-PIN探測(cè)器,而比較流行的第三種探測(cè)器是一種密封的、充氣的正比計(jì)數(shù)器(PropCounter)?! ?/div>
  對(duì)于不同的應(yīng)用用途,光譜儀體系中探測(cè)器的選擇也不盡相同——例如對(duì)于定性分析往往需要用到硅漂移探測(cè)器。

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